kashiyama 真空技術與應用
KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發(fā)進取，在半導體制造領域和高科技行業(yè)中擁有極高的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。
Harsh Process ( SDE系列 )
· 適用于所有的制程，耐久、耐腐蝕。
Light process ( MU-X&MU-P/H系列)
· 同時實現(xiàn)了節(jié)能、輕量化，是目前世界上同等級羅茨泵中最節(jié)能的系列。
· 節(jié)能、小型、輕量，可以嵌入到各種設備中。
· 除了節(jié)能、輕量的MU-X系列以外，還有可以對應一部分工藝的MU-P系列。
· 大排氣量
SDE&SDL系列
· 適用于半導體、液晶面板等行業(yè)的大排氣量干泵。嚴苛制程上為SDE系列，輕制程上為SDL系列。
NeoDry系列
· 追求減低整體成本的一款空冷式真空泵。
· 不需要循環(huán)冷卻水，面向一般產業(yè)、分析、研究開發(fā)等行業(yè)。
SDE 系列
NeoDry 系列
SDL 系列
MU-X & MU-P/H 系列
NeoDry系列 小型?風冷?干式真空泵
NeoDry系列
|
型號 |
最大排氣速度(L/min) |
極限壓力（Pa） |
|---|---|---|
|
NeoDry7E |
110 |
5.0 |
|
NeoDry15E |
250 |
1.0 |
|
NeoDry30E |
500 |
1.0 |
|
NeoDry36E |
600 |
1.0 |
|
NeoDry60E |
1,000 |
2.0 |
|
Neodry100E |
1,670 |
2.0 |
|
NeoDry300E |
,000 |
0.3 |
MU-X(P/H)系列 低耗能0.35kw?省空間?Harsh Process(P/H)
MU-X（ P/H )系列
|
型號 |
最大排氣速度(L/min) |
極限壓力（Pa） |
|---|---|---|
|
MU100 X（ P/H ) |
1,660 |
3.0 |
|
MU180 X（ P/H ) |
3,000 |
5.0 |
|
MU300 X（ P/H ) |
5,000 |
0.5 |
|
MU600 X（ P/H ) |
10,000 |
0.5 |
|
MU1218 X（ P/H ) |
20,000 |
0.5 |
|
MU20N18 X（ P/H ) |
30,000 |
0.5 |
|
MU30N18 X（ P/H ) |
50,000 |
0.5 |
SDE系列 Harsh Process?節(jié)能?大排氣量
SDE系列
|
型號 |
最大排氣速度(L/min) |
極限壓力（Pa） |
|---|---|---|
|
SDE90X |
1,300 |
1.3 |
|
SDE120TX |
1,500 |
1.3 |
|
SDE200 |
3,300 |
1.3 |
|
SDE303X |
5,000 |
0.5 |
|
SDE603X |
10,000 |
0.5 |
|
SDE1203TX |
20,000 |
0.5 |
|
SDE20N12TX |
30,000 |
0.5 |
|
SDE30N20 |
50,000 |
0.5 |
|
SDE60N20 |
100,000 |
0.5 |
SDL系列 快節(jié)奏排氣?大排氣量
?SDL系列
|
型號 |
最大排氣速度(L/min) |
極限壓力（Pa） |
|---|---|---|
|
SDL12E50/60 |
25,000 |
0.8 |
|
SDL20E60 |
40,000 |
0.8 |
|
SDL36E60 |
60,000 |
0.8 |
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